2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

06.薄膜・表面 » 6.3 酸化物エレクトロニクス

[28p-F2-1~19] 6.3 酸化物エレクトロニクス

2013年3月28日(木) 14:00 〜 19:00 F2 (E3号館 3F-303)

[28p-F2-4] Air-Gapゲート構造を用いた酸化物界面のキャリア濃度変調 (2:45 PM ~ 3:00 PM)

反保智貴1,小塚裕介1,Joseph Falson2,塚﨑敦2,3,川﨑雅司1 (東大院工1,東大新領域2,JSTさきがけ3)

キーワード:ZnO、FET、Air-Gap