[28p-F2-1~19] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[28p-F2-7] 金属/酸化物多層膜の形成と評価 (3:30 PM ～ 3:45 PM)

^○後藤佑太，羽場洋輔，一戸隆久 (東京工業高等専門学校)

キーワード：透明導電膜、Ti、多層膜