[28p-F2-1~19] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[28p-F2-8] 水蒸気雰囲気アニールによるSnO₂膜の形成 (3:45 PM ～ 4:00 PM)

^○小田信彦¹，野瀬健二²，神子公男²，光田好孝² (東大院工¹，東大生研²)

キーワード：透明導電膜