[28p-G21-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[28p-G21-11] In-situ RF-MBE法によるAlO_x/AlN/GaN構造のヘテロ成長 (6:30 PM ～ 6:45 PM)

^○杉浦洋平^1,2，山口智広¹，本田徹¹，東脇正高^2,3 (工学院大工¹，情通機構²，JSTさきがけ³)

キーワード：MBE、酸化物、窒化物