[28p-G21-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[28p-G21-12] NH₃-CIBを用いてMBE成長したAlN, GaN/Al₂O₃薄膜の格子定数 (6:45 PM ～ 7:00 PM)

^○斉藤博¹，今井和明²，鈴木和彦² (岡山理大理¹，道工大工²)

キーワード：IIi-V族窒化物、アンモニアクラスターイオンビーム