[28p-G21-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[28p-G21-8] トップダウン法ナノコラムテンプレート上へのGaNナノコラム成長 (5:45 PM ～ 6:00 PM)

^○山野晃司¹，岸野克巳^1,2，関口寛人³，若原昭浩³ (上智大理工¹，上智ナノテク研究センター²，豊橋技大工³)

キーワード：GaN、nanocolumn