[28p-G22-1~19] 15.6 IV族系化合物

[28p-G22-1] 犠牲酸化処理が熱酸化SiO₂/4H-SiC(0001)構造に及ぼす影響 (1:45 PM ～ 2:00 PM)

^○細井卓治¹，上西悠介¹，箕谷周平²，中野佑紀²，中村孝²，志村考功¹，渡部平司¹ (阪大院工¹，ローム²)

キーワード：シリコンカーバイド、酸化膜