2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.6 IV族系化合物

[28p-G22-1~19] 15.6 IV族系化合物

2013年3月28日(木) 13:45 〜 18:45 G22 (B5号館 4F-2406)

[28p-G22-3] Al/Ti/Snを用いたp形4H-SiCへのオーミックコンタクトの低温形成 (2:15 PM ~ 2:30 PM)

畑山紘太1,山本圭介2,3,王冬1,中島寛2 (九大・総理工1,九大・産学セ2,学振特別研究員3)

キーワード:SiC、Ohmic Contact