[28p-G22-1~19] 15.6 IV族系化合物

[28p-G22-5] リン酸中レーザ照射を用いた4H-SiCへのリンのドーピング特性 (2:45 PM ～ 3:00 PM)

^○池田晃裕，西紘史，丸井大地，池上浩，浅野種正 (九大シス情)

キーワード：laser-doping、SiC