[28p-G6-1~17] 13.5 Siプロセス技術

[28p-G6-10] 結晶化誘発層上に堆積した非晶質Si薄膜のパルスレーザー照射による固相結晶化 (4:30 PM ～ 4:45 PM)

^○望月一秀，Lien Mai，堀田將 (北陸先端大)

キーワード：多結晶Si、結晶化誘発層、固相結晶化、パルスレーザー