[28p-G6-1~17] 13.5 Siプロセス技術

[28p-G6-13] ナノメートル幅アモルファスシリコン細線を用いたマイクロ熱プラズマジェット照射高速横方向結晶化における結晶成長制御 (5:15 PM ～ 5:30 PM)

^○（B）山本将悟，藤田悠二，林将平，森崎誠司，上倉敬弘，赤澤宗樹，村上秀樹，東清一郎 (広大院先端研)

キーワード：マイクロ熱プラズマジェット