[28p-G6-1~17] 13.5 Siプロセス技術

[28p-G6-2] 反応性スパッタ製膜したSiNx膜の電気特性評価 (2:15 PM ～ 2:30 PM)

^○岡田竜弥，屋宜佳佑，井村公彦，野口隆 (琉球大 工)

キーワード：Thin Film Transistor