2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.5 Siプロセス技術

[28p-G6-1~17] 13.5 Siプロセス技術

2013年3月28日(木) 14:00 〜 18:30 G6 (B5号館 1F-2106)

[28p-G6-5] 太陽電池用シリカ還元プロセスにおける原料の交互供給効果 (3:00 PM ~ 3:15 PM)

小笠原卓哉,伊高健治,神本正行,古屋康文,佐藤裕之,相馬拓也,佐藤洋平 (弘前大理工)

キーワード:太陽電池、シリカ、還元