[28p-G6-1~17] 13.5 Siプロセス技術

[28p-G6-6] ナノシリコン弾道電子源の還元効果によるSi薄膜堆積 (3:15 PM ～ 3:30 PM)

^○須田隆太郎，伊藤光樹，小島明，白樫淳一，越田信義 (東京農工大院工)

キーワード：電子源、薄膜堆積、還元