[28p-G7-1~13] 13.7 シミュレーション

[28p-G7-2] 次世代TCAD (2) 新規材料開発に対応した3次元モンテカルロ(MC)イオン注入 (1:45 PM ～ 2:00 PM)

^○森一樹，小池秀耀 (アドバンスソフト)

キーワード：TCAD