2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.2 半導体表面

[28p-G8-1~14] 13.2 半導体表面

2013年3月28日(木) 13:00 〜 16:45 G8 (B5号館 2F-2202)

[28p-G8-2] Si(111)表面の自然酸化の原子論的形態に関する考察 (1:15 PM ~ 1:30 PM)

○(M1)土井修平,蓮沼隆,山部紀久夫 (筑波大)

キーワード:自然酸化、表面、シリコン