[28p-PA1-1~34] 15.4 III-V族窒化物結晶

[28p-PA1-17] △(111)Si基板上スパッタAlN細線上GaN成長 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○光成正¹，名和健吾¹，山田貴也¹，本田善央¹，山口雅史¹，天野浩^1,2 (名大院工¹，赤﨑研究センター²)

キーワード：GaN、スパッタ、Si基板