[28p-PA1-1~34] 15.4 III-V族窒化物結晶

[28p-PA1-24] MOVPE法を用いたGaN両極性同時成長プロセス(II) (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○藤田陽平¹，高野泰²，井上翼²，中野貴之² (静大院工¹，静大工²)

キーワード：GaN、MOVPE、両極性