[28p-PA1-1~34] 15.4 III-V族窒化物結晶

[28p-PA1-31] 昇華法による荒れたSiC基板上へのAlN成長 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○西野克志¹，日和佐悠一¹，岩元翔太¹，林浩太郎¹，月原政志² (徳島大工¹，ウシオ電機²)

キーワード：窒化アルミニウム、昇華法