[28p-PB3-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[28p-PB3-3] ▲単結晶ダイヤモンド機械共振特性の研究 (4:00 PM ～ 6:00 PM)

^○廖梅勇¹，戸田雅也²，Liwen Sang¹，井村将隆¹，池田直樹¹，小出康夫¹ (物質・材料研究機構¹，東北大院工²)

キーワード：diamond、MEMS