[28p-PB3-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[28p-PB3-7] COガスを用いたRFプラズマCVD法によるアモルファスカーボン膜の作製 (4:00 PM ～ 6:00 PM)

^○安岡佑起¹，針谷達¹，岩佐向洋¹，古田寛^1,2，八田章光^1,2 (高知工科大¹，高知工科大ナノテク研²)

キーワード：アモルファスカーボン、CVD、一酸化炭素