[28p-PB3-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[28p-PB3-8] △同位体原料からのアモルファス炭素膜の作製 (4:00 PM ～ 6:00 PM)

^○鈴木裕太郎¹，鈴木常生²，大竹尚登¹，赤坂大樹¹ (東工大¹，長岡技科大²)

キーワード：アモルファス炭素膜