[28p-PB3-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[28p-PB3-9] Morphological change of carbon film surface through thermal annealing (4:00 PM ～ 6:00 PM)

^○崔允禎¹，富田卓朗^1,2，直井美貴^1,2 (徳島大¹，徳島大²)

キーワード：carbon、anneal