[28p-PB4-1~15] 6.5 表面物理・真空

[28p-PB4-3] DLC初期成長層と下地原子界面の観察 (4:00 PM ～ 6:00 PM)

宇偉華，^○奥野公夫 (長崎総合科学大工)

キーワード：DLC成長　, DLC 膜, FIM-FEM, 界面