[28p-PB4-1~15] 6.5 表面物理・真空

[28p-PB4-6] △厚膜シリコン酸化膜に形成したボイド構造のAFM観察 (4:00 PM ～ 6:00 PM)

^○吉田太祐，永井孝幸，遠田義晴 (弘前大院理工)

キーワード：シリコン酸化膜、熱脱離、ボイド構造