2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

06.薄膜・表面 » 6.6 プローブ顕微鏡

[28p-PB5-1~5] 6.6 プローブ顕微鏡

2013年3月28日(木) 16:00 〜 18:00 PB5 (第二体育館)

[28p-PB5-4] プローブ顕微鏡による有機スパッタ膜の表面吸着水の評価 (4:00 PM ~ 6:00 PM)

大林正史,杉本岩雄,須田順子,長名優子,村松宏 (東京工科大)

キーワード:KFM、表面電位顕微鏡、炭素質薄膜