[29a-A4-1~11] 16.3 シリコン系太陽電池

[29a-A4-5] 反応性スパッタリング法によるAl₂O₃:H薄膜の作製と評価 (10:00 AM ～ 10:15 AM)

^○伊藤浩¹，川又由雄²，大山昌憲³ (東京高専¹，芝浦メカトロ²，共立³)

キーワード：スパッタリング、酸化アルミニウム、パッシベーション膜