[29a-B5-1~11] 1.9 超音波

[29a-B5-5] △高音速薄膜装荷LiNbO₃基板上の縦型漏洩弾性表面波 (10:00 AM ～ 10:15 AM)

^○（M1）松倉史弥，植松真人，保坂桂子，垣尾省司 (山梨大院医工)

キーワード：弾性表面波、ニオブ酸リチウム、窒化アルミニウム薄膜