[29a-B7-1~12] 8.5 プラズマナノテクノロジー

[29a-B7-10] ▼低温カーボンナノチューブ成長の過程でアンモニア前処理の影響 (11:30 AM ～ 11:45 AM)

^○（DC）Raman Bekarevich^1,2，三浦彰太¹，Aliaksandar Rahachou²，永津雅章¹ (静大院¹，ｺﾞﾒﾙ大²)

キーワード：carbon nanotubes、microwave excited plasma CVD、ammonia pretreatment