[29a-B7-1~12] 8.5 プラズマナノテクノロジー

[29a-B7-3] △プラズマCVDによるCu上への高結晶性グラフェンの成長 (9:30 AM ～ 9:45 AM)

^○宮脇芳博，佐野和也，林康明 (京都工繊大工芸)

キーワード：グラフェン、プラズマ、CVD