2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.5 プラズマナノテクノロジー

[29a-B7-1~12] 8.5 プラズマナノテクノロジー

2013年3月29日(金) 09:00 〜 12:15 B7 (K2号館 4F-1403)

[29a-B7-7] △プラズマCVDを用いたシリコンナノ粒子の合成および収率評価 (10:45 AM ~ 11:00 AM)

前薗圭佑,山田陸,Ryan Gresback,丁毅,岡崎健,野崎智洋 (東工大)

キーワード:プラズマCVD、シリコン量子ドット、太陽電池