[29a-B7-1~12] 8.5 プラズマナノテクノロジー

[29a-B7-8] スパッタ・エッチングプロセスによるＤＬＣナノ構造体の形状変化 (11:00 AM ～ 11:15 AM)

^○針谷達¹，岩佐向洋¹，角田祥明¹，古田寛^1,2，八田章光^1,2 (高知工科大¹，高知工科大ナノテク研²)

キーワード：ナノ構造体、DLC、エッチング