[29a-B8-1~10] 8.2 プラズマ診断･計測

[29a-B8-7] △低コヒーレンス干渉計を用いた基板温度計測における波長依存性 (10:45 AM ～ 11:00 AM)

^○加藤寛人¹，柴田恭兵¹，太田貴之¹，堤隆嘉²，堀勝²，伊藤昌文¹ (名城大理工¹，名大院工²)

キーワード：低コヒーレンス干渉計