[29a-B8-1~10] 8.2 プラズマ診断･計測

[29a-B8-9] △AEセンサ内蔵ウエハステージによるプラズマプロセス中の異常検出 (11:15 AM ～ 11:30 AM)

^○笠嶋悠司¹，田原竜夫¹，小林由和²，八坂三夫³，阪本真悟⁴，秋山守人¹，鍋岡奈津子¹，本村大成¹，上杉文彦¹ (産総研¹，クリエイティブテクノロジー²，崇城大工³，ルネサスセミコンダクタ九州・山口⁴)

キーワード：AEセンサ、異常検出