[29a-D2-1~9] 4.7 レーザー・プロセッシング

[29a-D2-8] XeレーザープラズマによるDLC膜の高速エッチング (11:30 AM ～ 11:45 AM)

^○天野壯 (兵庫県大高度研)

キーワード：DLC、laser plasma、etching