2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

04.量子エレクトロニクス » 4.7 レーザー・プロセッシング

[29a-D2-1~9] 4.7 レーザー・プロセッシング

2013年3月29日(金) 09:30 〜 12:00 D2 (C5号館 3F-5310)

[29a-D2-8] XeレーザープラズマによるDLC膜の高速エッチング (11:30 AM ~ 11:45 AM)

天野壯 (兵庫県大高度研)

キーワード:DLC、laser plasma、etching