[29a-D2-1~9] 4.7 レーザー・プロセッシング

[29a-D2-9] 3次元マイクロ金型作製のためのレーザープラズマ軟X線によるPMMAの微細加工 (11:45 AM ～ 12:00 AM)

^○杉浦伸彦¹，鳥居周一¹，牧村哲也¹，岡崎功太²，中村大輔²，高橋昭彦³，岡田龍雄²，新納弘之⁴，村上浩一¹ (筑波大院数理物質科学¹，九大シス情²，九大医学研究院³，産総研環境化学技術⁴)

キーワード：レーザープラズマ軟X線、PMMA、金型