[29a-D3-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[29a-D3-3] 応力を制御した(Na,Bi)TiO₃－BaTiO₃エピタキシャル薄膜の結晶構造と圧電特性 (9:30 AM ～ 9:45 AM)

^○田中良明¹，張替貴聖¹，足立秀明²，藤井映志²，坂元尚紀³，脇谷尚樹³，鈴木久男³ (パナソニック　デバイス社¹，パナソニック　先端研²，静大工³)

キーワード：非鉛圧電薄膜