[29a-D3-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[29a-D3-7] コンビナトリアル成膜によるBZT-BCT薄膜の組成依存性評価 (10:45 AM ～ 11:00 AM)

^○（M1）森亮¹，黒川文弥²，神野伊策¹ (神大院工¹，京大院工²)

キーワード：コンビナトリアルスパッタリング、BZT-BCT