[29a-G10-1~11] 17.3 新機能探索・基礎物性評価

[29a-G10-5] レジストフリープロセスによるグラフェン電子デバイスの作製 (10:00 AM ～ 10:15 AM)

^○井福亮太，森山喬史，長汐晃輔，西村知紀，鳥海明 (東大院工)

キーワード：グラフェン、レジスト、プロセス