[29a-G21-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[29a-G21-3] CH4によるAlGaNへのp型ドーピング (9:30 AM ～ 9:45 AM)

^○Heesub Lee¹，金度亨²，山住和也²，酒井士郎² (ソウルオプトデバイス¹，徳島大院²)

キーワード：Carbon　ドープ