[29a-G6-1~12] 13.1 基礎物性・評価

[29a-G6-12] △微細構造歪SiGe層に生じる応力緩和分布のテンソル評価 (12:00 PM ～ 12:15 AM)

^○（D）富田基裕^1,2，小瀬村大亮¹，臼田宏治³，小椋厚志¹ (明治大理工¹，学振特別研究員DC²，産総研GNC³)

キーワード：Raman、EBSP、超解像