2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.1 基礎物性・評価

[29a-G6-1~12] 13.1 基礎物性・評価

2013年3月29日(金) 09:00 〜 12:15 G6 (B5号館 1F-2106)

[29a-G6-3] 半導体誘電率における格子定数の影響 (9:30 AM ~ 9:45 AM)

○(B)森本沙也香1,濱田智之2,関野秀男1 (豊技大工1,日立中研2)

キーワード:誘電率、格子定数