[29a-G6-1~12] 13.1 基礎物性・評価

[29a-G6-7] ブルーレーザアニールを施したリンドープSi膜における電気伝導率の温度依存性 (10:45 AM ～ 11:00 AM)

^○西ノ原拓磨，知念怜，岡田竜弥，野口隆 (琉球大工)

キーワード：BLDA、スパッタ