[29a-G6-1~12] 13.1 基礎物性・評価

[29a-G6-8] 3次元アトムプローブによるシリコン中の重水素分布観察 (11:00 AM ～ 11:15 AM)

^○（P）高見澤悠¹，星勝也¹，清水康雄¹，井上耕治¹，矢野史子^1,2，永田晋二¹，四竈樹男¹，永井康介¹ (東北大金研¹，東京都市大²)

キーワード：atom probe、3次元アトムプローブ