[29a-G7-1~11] 22.1 合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）

[29a-G7-11] ラッチ機構を備えた可変間隙Si細線導波路カプラースイッチ (11:45 AM ～ 12:00 AM)

^○阿部翔太郎，金森義明，羽根一博 (東北大院工)

キーワード：光スイッチ、シリコン細線導波路、MEMS