[29a-G9-1~11] 13.6 Siデバイス／集積化技術

[29a-G9-1] Si Epi-channel TFET での縦方向トンネルによる電流増大効果の実証 (10:00 AM ～ 10:15 AM)

^○森田行則，森貴洋，右田真司，水林亘，田邊顕人，福田浩一，昌原明植，太田裕之 (産総研-GNC)

キーワード：TFET、Tunnel FET、トンネルFET