[29a-G9-1~11] 13.6 Siデバイス／集積化技術

[29a-G9-5] △スピンオングラス法によるZn拡散を用いたプレーナ型InGaAs TFETの動作実証 (11:00 AM ～ 11:15 AM)

^○（M2）野口宗隆¹，金相賢¹，横山正史¹，市川磨²，長田剛規²，秦雅彦²，竹中充¹，高木信一¹ (東大院工¹，住友化学²)

キーワード：トンネルFET、InGaAs、プレーナ型