[29a-PB1-1~5] 9.1 誘電材料・誘電体

[29a-PB1-5] STOをバッファ層としたMOD-PZT薄膜の作製と評価 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○梶村恵子，山本伸一 (龍谷大理工)

キーワード：PZT、MOD法