[29a-PB3-1~9] 9.3 ナノエレクトロニクス

[29a-PB3-6] 直列接続型集積化ナノギャップでのエレクトロマイグレーションを用いた狭窄過程における電気的特性の制御 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○石井聡一，須田隆太郎，伊藤光樹，平田晃大，白樫淳一 (東京農工大院工)

キーワード：エレクトロマイグレーション、集積化、ナノギャップ