[29a-PB4-1~9] 9.4 熱電変換

[29a-PB4-7] RFスパッタにより形成したMg₂Si薄膜の熱電特性 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○（M1）林佳範¹，森田幸弘^1,2，西谷幹彦^1,2，倉敷哲生¹ (阪大¹，パナソニック²)

キーワード：熱電変換、マグネシリサイド、RFスパッタ